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介绍
三氧化二薄膜具有特 殊的电子、光学及其他物 理特性,广泛应用于微电 子、五金工具和光学技术等行业。
与其他技术相比,我们的FCVA三氧化二 铝镀膜质量更好。异面双弯技术可以解决一直 困扰其他阴极电弧技术的宏观颗粒杂质问题。在 真空室内,高能铝离子能够电离氧,铝离子 与氧充分反应。轰击基片的离子,其动能随加在 基片上的偏压而改变。
由于FCVA技术,我们可在高沉积率和低温 条件下镀出大面积、均匀致密、光学性质 好、强度高以及耐磨损耐腐蚀的 三氧化二铝薄膜。
本个案研究包含以下内容:
金属氧化物镀膜