Case study: Copper Coating using FCVA technology, Metal Film , Copper Film, Ultra Thin Metal Film Coating, Metal Coating, Copper Coating, Cu Film, Cu Coating
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Case Study
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介绍

铜比铝的电阻率更小,电子 迁移量更少。因此,在半 导体工业领域,越来越多应用 使用铜作为连接材料。

 
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我们可在高沉积率 和低温条件下镀出大面积,均匀 的纯铜薄膜。当膜层厚度大 于120nm时,FCVA的铜膜电阻率接 近铜块的电阻率。铜膜由100%能量可调的铜离子 产生,可以适用于对高纵横 比(Aspect Ratio)沟道进行镀膜。 我们的FCVA铜膜技术还具有优异的反向填充性质, 能够实现其他技术不可能完成的镀膜任务。

FCVA的镀铜技术有 各项先进的技术参数,是半导体连接卓越的解决方案,同时 还可以对印刷电路板和塑料基片实现金属化。

个案研究包含以下内容:

  • Road Map of Semiconductor
  • Interconnection in Semiconductor
  • Copper process flow
  • Disadvantages of current technology
  • Future interconnector technology
  • Copper Film by FCVA
  • FCVA Technology
  • Advantages of Cu film by FCVA
  • Cu Seedlayer criteria
  • Comparison
  • Cu Structure
  • AFM images
  • Roughtness
  • Lateral Size of Cu Crystal
  • X-ray Diffraction
  • Resistivity vs Film Thickness
  • Cu Seedlayer comparison
  • Cu Seedlayer by Nanofilm FCVA
  • Summary
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