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介绍
非晶四面体碳(Tetrahedral Amorphous Carbon) 即ta-C膜是一种重要的高科技 材料。具有高硬度、低摩擦系数、耐 化学腐蚀、透光性、无电子亲和性等一 系列独特的性质。
FCVA 技术以令人满意的沉积 率,在低温情况下,大面积地镀上无杂 质、均匀性高的ta-C薄膜。我们的 ta-C 膜层 含有高达88%的sp3键,因此膜层硬度极高(达 到 75 GPa),摩擦系数极低(0.08),理想的光学带 隙(Optical Band Gap)2.5eV,理想的场发射效 应(Field Emission Effect)以及红外线透光性。
基于以上各种优异的性质,FCVA ta-C膜 被广泛应用于各种场合。尤其适合用于滑动/固定 磁头,磁介质,记录磁鼓,刀具,磨具和红外线光学设备。
本个案研究包含以下内容:
ta-C 镀膜