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什么是过滤阴极真空电弧(FCVA)技术?
与其他类似系统相比(FCVA)系统有何优势?
FCVA的独特性是什么?
镀膜有何益处?
我可以应用FCVA技术吗?
什么是过滤阴极真空电弧(FCVA)技术?
参见
FCVA技术
与其他类似系统相比(FCVA)系统有何优势?
1. 消除宏观颗粒
2. 有能力进行大面积和多层镀膜
3. 可以根据工艺要求调整等离子束 的离子能量
4. 在工艺流程中可连续监控膜层参数
5. 可以生产各种类型的薄膜,包括: ta-C、金属、 金属氧化物、金属氮 化物以及高质耐磨的光学薄膜
6. 对终端用户来说,减少了维护时间,更易于管理
7. 低温工艺,在室温下工作,可以在塑料等低熔点物质上成膜
FCVA的独特性是什么?
1. 纯等离子束沉积
2. 可选择的离子束能量
3. 异面双弯设计
4. 革新的阳极/阴极设计
5. 电脑控制的离子束扫描
6. 自动靶面磨整
8. 可编程沉积率和沉积区域
9. 全自动工艺流程控制
镀膜有何益处?
高质量的薄膜提供:
1. 更高的硬度
2. 更好的耐磨性
3. 减少摩擦力
4. 防止腐蚀
5. 阻隔扩散
6. 良好的抗氧化性能
7. 提高器件的质量
8. 延长工件的使用寿命
9. 减少维修时间
10. 降低生产成本
我可以应用FCVA技术吗?
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