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与其他方法得到的类金刚石膜层相比，FCVA的ta-C膜层不含氢，强度更高，表面更光滑。可以为切割工具，冲压模具，塑料模具及其他需要耐磨材料的工业应用提供全面的磨损和腐蚀保护。
FCVA是低温工艺，因此我们可以
在塑料、金属、透镜等一系列低熔点材料
上进行ta-C镀膜。
纳峰科技提供完整的ta-C镀膜产品。典型的ta-C镀膜应用包括：高速高精度钻头，螺母丝锥，塑料及粉末注入模具，各类冲压模具等。
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应用 |
镀膜工件 |
工件材料 |
| 1 |
非铁磁性金属工业加工
(金属和聚合物) |
铣刀 |
非铁磁性材料 |
| 钻头 |
非铁磁性材料 |
| 刀具 |
非铁磁性材料 |
| 2 |
手动和自动攻丝 |
丝锥 |
SS, 铸铁 |
| 3 |
冲压设备 |
冲压模具 |
全部 |
| 冲模 |
全部 |
| 4 |
PCB切边和钻孔设备 |
钻头 |
包铜/聚合物 |
| 切边铣刀 |
包铜/聚合物 |
| 5 |
模具 |
塑料注入模具 |
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| 粉末注入模具 |
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FCVA的ta-C镀膜与其它科技的类金刚石镀膜之比较
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Sputtered a-C:H |
ECR |
FCVA |
Ion Beam |
| 硬度(GPa) |
5-20 |
20-34 |
65-75 |
10-22 |
| 杨氏模量(GPa) |
~170 |
~250 |
650-720 |
~170 |
| SP3比例 (%) |
0-30 |
25-40 |
80-88 |
-- |
| 密度(g/cm3) |
~170 |
~250 |
650-720 |
~170 |
| 摩擦系数 |
~0.12 |
~0.12 |
0.08-0.11 |
~0.12 |
| 电阻率(Wcm) |
-- |
~1012 |
~108-1010 |
~108-1012 |
| 衰弱场(V/nm) |
-- |
0.4-0.5 |
>0.5 |
-- |
| 压力(GPa) |
~2 |
~4-10 |
~2-3 |
~5 |
| 氢含量(%) |
0-40 |
22-30 |
~0 |
22~45 |
| 耐腐蚀性 |
一般 |
好 |
优异 |
好 |
| 拉曼G峰值(cm-1) |
1540-1575 |
1530-1540 |
1565-1574 |
1530-1540 |
| 光学带隙(eV) |
0-2.0 |
2.5-3.6 |
~2.4 |
~2.5 |
| 沉积率95mm圆片(Å/sec) |
~10 |
~10 |
~10 |
~20 |
| 均匀性(95mm 单片) ±% |
3 |
-- |
~2 |
3 |
| 均匀性(片与片) ±% |
-- |
-- |
<4% |
-- |
| 气源 |
H2,Ar |
CH4,H2,Ar |
无 |
CH4,H2,Ar |
| 温度敏感性(°C) |
~200 |
~200 |
~250-300 |
~200 |
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